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KLA-Tencor Spectra-Shape 8660 光學(xué)計(jì)量儀是一種先進(jìn)的半導(dǎo)體晶圓測試和計(jì)量設(shè)備，主要用于精確測量半導(dǎo)體晶圓的特征尺寸和形狀。該系統(tǒng)采用光學(xué)技術(shù)，能夠?qū)χ睆竭_(dá)300毫米的晶圓進(jìn)行高精度的CD（Critical Dimension）測量和形狀測量。
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